河东区气浮直线台可以用比较低的制造精度来获得更高的精度

发布于：2021年05月25日来源：zixun.fuhai360.com

[摘要]河东区气浮直线台可以用比较低的制造精度来获得更高的精度，气浮导轨是无摩擦运动，通过压缩空气使气浮滑块和导轨间（气模间隙）达到润滑的作用

可以用比较低的制造精度来获得更高的精度，气浮导轨是无摩擦运动，通过压缩空气使气浮滑块和导轨间（气模间隙）达到润滑的作用，中间无任何机械摩擦，运动时更平稳，气体在气模间隙里有均化左右。
1.高直线度和平面度，单轴气浮直线台在亚微米级别，则线轨直线台在微米量级；
2.高Pitch/Roll/Yaw指标，单轴气浮直线台在2角秒，线轨直线台在10角秒左右；
3.高定位精度和重复定位精度，单轴气浮直线台在亚微米级别；
4.高动态性能，运行平稳，具有良好的跟随误差。