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中精微设备静压空气轴承,天津气浮转台,天津气浮产品

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天津南开区|河西区高精度气浮转台的参数

发布于:2021年06月11日 来源:zixun.fuhai360.com
[摘要]天津南开区|河西区高精度气浮转台的参数,在科研、高端制造业的精密测量等应用场景,经常会用到一些高精度的转台,通过360°旋转被测物品,配合相应的检测设备,来实现对被测物品的检测或质量控制。
的参数,在科研、高端制造业的精密测量等应用场景,经常会用到一些高精度的转台,通过360°旋转被测物品,配合相应的检测设备,来实现对被测物品的检测或质量控制。
这些应用场景需要用到的高精度转台一般需要具备直驱无刷电机、增量式或绝-对式光栅,以及相应的驱动控制器和控制软件。一般有机械轴承转台和气浮轴承转台两种。
角度精-确度可以通过配备标准较高的光栅尺来保证,取决于圆光栅的直径大小,角度精-确度一般在±1 - ±10 arc sec的范围。如果一些特殊应用场景需要更高的角度精-确度,可以通过补偿的方式来实现,例如下图的转台通过Autocollimator(自准直仪)的校准后,角度精-确度可以达到< 0.5arc sec。
端跳是指任何旋转平台转动的时候,转台的转子台面沿着轴心上下方向的跳动。径跳是指转动的时候,转台的转子轴心向四周方面的跳动。这两个误差是任何时候任何转台转动的时候都存在,只是误差大小的区别。
机械轴承的转台,端跳和径跳一般在3到5μm的范围,个别技术领先的厂家能保证在1μm以内但可选的范围不多,下图为比利时LAB公司的机械转台的径跳测试结果,实测数据为402nm。